純水霧化器作為將液態(tài)水轉(zhuǎn)化為微米級(jí)水霧的核心設(shè)備，其操作規(guī)范直接關(guān)系到設(shè)備壽命、測(cè)試精度及環(huán)境安全。

　　純水霧化器維護(hù)保養(yǎng)體系：分級(jí)管理策略：

　　1.日常維護(hù)需執(zhí)行“五查制度”：檢查電源線絕緣層、檢查發(fā)煙管密封圈、檢查水位傳感器、檢查霧化噴頭、檢查排水閥。每周需進(jìn)行一次深度清潔，將霧化室拆卸后浸泡于1:3白醋水溶液中30分鐘，此方法可去除98%以上的水垢沉積。

　　2.季度保養(yǎng)需重點(diǎn)檢測(cè)超聲波振子性能，使用激光粒度分析儀測(cè)試霧化粒徑分布，當(dāng)D50值偏離設(shè)定值±15%時(shí)，需更換振子組件。每運(yùn)行500小時(shí)需對(duì)電路板進(jìn)行除塵處理，使用壓縮空氣罐以0.2MPa壓力吹掃散熱鰭片間隙。

　　3.年度檢修需委托專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行，檢測(cè)項(xiàng)目包括：絕緣電阻測(cè)試（≥50MΩ）、接地電阻測(cè)試（≤0.1Ω）、發(fā)煙均勻性測(cè)試（變異系數(shù)CV≤5%）。

　　純水霧化器安全操作規(guī)范：風(fēng)險(xiǎn)防控要點(diǎn)：

　　1.電氣安全方面，需嚴(yán)格遵守“一機(jī)一閘”原則，禁止與其他大功率設(shè)備共用插座。設(shè)備外殼接地電阻需定期檢測(cè)，當(dāng)接地線斷裂或接觸不良時(shí)，設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的靜電可能引燃高濃度水霧（雖無(wú)毒但含氧量高）。

　　2.環(huán)境安全方面，在半導(dǎo)體潔凈室使用時(shí)，需確認(rèn)水霧顆粒不會(huì)對(duì)光刻膠等敏感材料產(chǎn)生污染。測(cè)試前需進(jìn)行兼容性實(shí)驗(yàn)，將水霧噴灑在樣品表面24小時(shí)后，使用顯微鏡觀察是否出現(xiàn)腐蝕痕跡。

　　3.操作安全方面，禁止在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中觸摸霧化噴頭，其表面溫度可達(dá)60-70℃，可能造成低溫燙傷。移動(dòng)設(shè)備時(shí)需先排空水箱，4升水的慣性沖擊可能導(dǎo)致主機(jī)跌落損壞。當(dāng)發(fā)煙量突然下降時(shí)，需立即停機(jī)檢查，強(qiáng)行運(yùn)行可能導(dǎo)致超聲波振子碎裂，飛濺的陶瓷碎片具有高速穿透性。